8月17日，美國再次升級針對華為的禁令

       “基于美國軟件和技術(shù)的產(chǎn)品不能用以制造或開發(fā)任何華為子公司（實體名單內(nèi)）所生產(chǎn)、購買或訂購的零部件、組件或設(shè)備中。”這意味著不但華為的麒麟芯片成為絕響，就連華為所需芯片的外購之路也被徹底堵死。此役，不管華為短時間內(nèi)如何破局，長遠來看，芯片制造必須完全自主化。

 

       電子級硝酸

 

       硝酸是芯片生產(chǎn)工藝中蝕刻環(huán)節(jié)非常重要的試劑，試劑中混雜的痕量氯離子會嚴重影響半導體器件的質(zhì)量，因此，不同級別的硝酸試劑，對其無機離子尤其是氯離子、硫酸鹽等有著嚴格的限量要求。目前針對電子級硝酸尚無國家標準，但是團體標準《電子工業(yè)用高純硝酸》和《電子工業(yè)用高純硝酸中痕量陰離子含量的測定  離子色譜法》已經(jīng)完成了意見征集，以上標準中均采用離子色譜來檢測硝酸中的痕量陰離子，離子色譜在保證電子級硝酸質(zhì)量方面具有不可或缺的作用。

 

       瑞士萬通離子色譜堅實耐用，整機由瑞士進口，取得“Swiss made”標識的使用資格（至少60%成本在瑞士，賦予產(chǎn)品基本特征的階段也必須在瑞士進行），十分適合硝酸中陰離子的檢測。

 

       對于硝酸這種高濃度基體試劑，一般色譜柱容量難以滿足測試需求，因此需要其進行稀釋或采用閥切換的方式進行檢測。 

 

       稀釋進樣

 

       本次實驗樣品為20%~35%的硝酸，將其稀釋100倍后進樣。

 

       采用Metrosep A Supp 16-250/4.0分離柱

       淋洗液：10.0mM Na2CO3+4.0mM NaHCO3的超純水溶液為淋洗液，進樣體積1.5μL，流速0.6mL/min，柱溫控制在20℃~25℃

       硝酸根在待測陰離子之后出峰，確保色譜峰的分離。

 

       閥切換

 

       本方案采用兩套離子色譜系統(tǒng)，第一套離子色譜系統(tǒng)對樣品進行預分離，樣品經(jīng)過檢測器后進入第二套離子色譜系統(tǒng)裝有預濃縮柱的進樣閥，通過第一套離子色譜系統(tǒng)的檢測器觀察，在待測離子出峰的時間段將第二套離子色譜進樣閥切換至預濃縮柱，如此，第二套離子色譜即可只針對待測離子進行分析，避免濃硝酸基體的干擾。

 

       系統(tǒng)1●●

 

       采用Metrosep A Supp 16-250分離柱

       淋洗液：100mM NaOH的超純水溶液，進樣體積20μL，流速0.8mL/min，柱溫控制在25℃

 

       系統(tǒng)2●●

 

       采用Metrosep A Supp 5-250分離柱

       淋洗液：3.2mM Na2CO3+1.0mM NaHCO3的超純水溶液，流速0.7mL/min，柱溫控制在25℃，預濃縮柱進樣