1.納米壓痕測試

       硬度的傳統(tǒng)定義是材料抵抗另一種較硬材料壓入的能力，它與材料彈塑性、拉伸強度、疲勞強度、耐磨性以及殘余應力等力學性能密切相關(guān)，是材料綜合力學性能的反映。顯微硬度測試薄膜硬度時一般會得到微米級深度的壓痕，深度大于薄膜的厚度，獲得的硬度就不可避免的會受到基體的影響，為薄膜與基體的復合硬度。

       安東帕納米壓痕是表征薄膜力學性能的必要的工具，符合ISO14577標準 ，能提供小載荷測試，在薄膜硬度的測試過程中，保證壓痕深度為薄膜厚度的1/10時，使獲得的硬度和彈性模量不受基材的影響，為薄膜的本征硬度。

       2.劃痕測試

       劃痕測試是表征膜基結(jié)合情況廣泛、研究最多的一種方法。劃痕試驗方法是上個世紀30年代發(fā)明的，它是用一個直徑為200μm的球型金剛石針尖在薄膜表面劃動，同時載荷也逐漸增加，當載荷達到一定值時，薄膜會出現(xiàn)損壞和剝落，此時的載荷稱為臨界載荷，用Lc 表示。臨界載荷用聲發(fā)射和摩擦力等信號檢測，但通過顯微鏡觀察劃痕情況所對應的載荷定義Lc 更為精準。

       安東帕公司的劃痕儀具有實時力反饋系統(tǒng)、劃痕前掃和后掃功能及全景成像技術(shù)專利設計，這些使得劃痕的圖像和其他劃痕過程中的參數(shù)一一對應，更加準確方便判斷臨界載荷Lc。

       3.摩擦磨損測試

       薄膜的摩擦磨損性能在其機械性能中占的比例也很大，安東帕經(jīng)典的TRB摩擦試驗機采用“山”形彈性臂設計，直觀的測試原理極大地簡化了幾乎各種固體材料在干燥或潤滑條件下的摩擦學研究。另外，對多種測試參數(shù)，例如：摩擦方式、轉(zhuǎn)速、頻率、接觸壓強、測試時間和環(huán)境條件（溫度、濕度、潤滑劑）等的控制，使得在實驗室模擬試樣實際服役條件下的摩擦行為成為可能。